第626章 橙子互娱成立！照明系统有了，可抛（2/2）
李彦洪双眼冒火，小声嘀咕道。
在他的视角之下，陈延森似乎在处处针对千度，先是联合360、企鹅和搜狗，与千度争夺搜索引擎行业的市场份额。
接着收购盛大文学，与纵横竞争。
如今又与企鹅深度绑定，成立橙子互娱，这是要把爱奇艺、千度书城往死路上赶啊。
睚眦必报！
只有起错的名字，就没有叫错的外号！
与此同时。
位于沪城的星源科技光学研发部，经过一个月的科研会战，终于研究出了一套照明系统。
简单来说，便是采用一组非球面反射镜，将EUV光束聚焦到微镜阵列中塑形调匀，再把已经调好形状、且非常均匀的光，一点不走样地穿过掩膜版，投射到晶圆上。
可方案一出来，所有人又被卡住了！
因为EUV光刻机的技术核心是，利用极深紫外光成像，这种光的波长极短，仅有纳米，对光学元件表面缺陷的敏感度远超可见光，只有做到原子级光滑度，才能保证光刻精度和能量效率。
镜面凸起、凹陷、划痕的尺寸若接近或大于波长，就会造成EUV光线的严重散射、衍射，进而导致光线传播方向偏离设计路径，最终在晶圆上形成的电路图案出现错位、模糊。
拿来生产芯片，良品率恐怕连1%都做不到。
而尴尬的是，此时国内的研究所，并不具备完成EUV光刻机照明系统镜子抛光的工程化和产业化能力。
林南思索一番后，给陈延森发去一封研发进度汇报邮件，并把当前的技术难点标注了出来。
各位义父，对不起，今天手腕有点疼，我争取明天多写。
哎，刚硬了三天，我就软了，难受……