字体
关灯
上一页 回目录 收藏 下一章

第85章 研发成功了!(2/2)

首先是,对于苏川提出脉冲冷激光的想法,直接改变了他的思路。

这段时间,他们一直在研究脉冲冷激光。

在此之前,尝试的极紫外光最多也就保证10纳米到15纳米精度的光刻。

脉冲冷激光则既然相反。

在理论上甚至能够达到1纳米级别,甚至更为精细的光刻!

他们在短时间内,光刻机的核心技术,曝光系统突飞猛进。

反而是对准系统,开始拖后腿了。

不过在今天发生的低频电磁脉冲意外后。

实验室里不断闪烁的灯光,给了贺老灵感。

没错,对准系统的解决方法很简单。

只需要反复关闭启动脉冲冷激光,以闪烁的方式进行光刻,在光刻中因为持续运作所造成的误差,可以大幅度减少。

贺老看着几名工作人员递交过来的对准系统运行日志,以及晶圆模具笑了起来。

一切与他计算的一致!

从另外的一个角度来说。

大夏的高精度光刻机,已经可以提前宣布,研发成功了!

(本章完)
上一页 回目录 收藏 下一章