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第976章 殊途同归的EUV(2/2)

郑振川从腰间取出一个加密U盘插入笔记本,又操作了几下后,便将屏幕转向苏远山和李明柳。

“这是验证机的设计方案,也是目前的最终设计方案。”

苏远山微微点头,眼睛却渐渐亮了起来。

原因无它,因为这……和他所见过的EUV光刻机,是“一样”的。

之所以“一样”要打引号,是因为记忆过去太久远了……苏远山已经无法记清楚细节,只能说,他看着设计图,便感觉到了一股熟悉。

这意味着……在现有的EUV的理论框架下,无论是ASML也好,还是宏芯也好,他们的思路……是殊途同归的!

而既然是殊途同归,那么接下来比的,就看谁的供应链,谁的设备供应商更牛逼了!

——这也是为什么,郑振川要在第一时间把喜讯告诉他的原因。

因为普天之下,在半导体这个领域,就算是宏芯,ASML,尼康,佳能……这些光刻机生产商,要论对半导体领域的影响力,也不如远芯。

要搞定设备和零部件供应商,远芯是个最好的中间人。

而这个忙,苏远山显然愿意帮。

李明柳也凑过头来,他比苏远山要跟兴奋一些,不断地翻着页面,最后视线停在整体设计图上,抬头问道。

“机械仿真全过了?”

郑振川笑眯眯地点头:“当然。”

李明柳看了苏远山一眼,继续问道:“零部件的要求高吗?”

“高,不是一般的高。”郑振川知道李明柳这人聪明绝顶,当年如果不是实在不好意思,他是真想把李明柳留下来的——当然,后面证明了,李明柳确实聪明绝顶,而且他也真留不下来。

“国内能满足多少?”苏远山这时也顺着李明柳的话问道。

听到这,郑振川便微微叹了口气:“小山,明柳,我不瞒你们。国内这十几年,虽然精密加工有了长足的进步,但EUV这种……可靠性需求还是太高了。国内没有几家能够满足我们条件的。”

“现在我们就有点类似首都精密那边的双工件台,虽然我们能设计出来,但真要完成全面国产和国内替代,那确实是有点不现实。”

李明柳微微皱眉,苏远山却不动声色,反而微微点了点头。

确实,这是事实。

越是高度精密的机械,越是不可能一蹴而就。宏芯能够设计出来,就已经是开了诺大的“挂”了。

要再让国内一直落后的高精尖机械加工领域实现全面替代……

那这台EUV何德何能敢自称现代工业的奇迹?

做梦都不敢这么做好吧。

“那现在,最主要的已知问题是什么?”沉吟几秒后,苏远山望向郑振川。

“是光源吗?”

“是,应该是。”郑振川笑了起来:“我们不可能比ASML走得更快的。”
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